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比较了3种不同的烧结温度对氧化锆流延基片性能的影响。结果表明,随着烧结温度的升高,基片的收缩率和相对密度增加、硬度增加、气孔率减小、晶粒和气孔的平均尺寸均有所增加。在1500℃保温3h可以获得较高的致密度(相对密度97.8%)和合适的晶粒尺寸,试样在1073K时离子电导率为1.187×10^-2S·cm^-1,烧结体物相主要为四方相。