退火过程中Si的扩散行为研究

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研究了电沉积试样的高温退火过程中,不同退火条件下试样中断面层Si原子的扩散.通过理论计算得出Si原子的扩散系数,分析退火条件对Si原子扩散的影响.结果表明:通过高温退火扩散可以促进试样中浓度的均一化分布;随着退火温度的升高,Si在试样中的扩散系数明显增大;退火温度一定时,延长退火时间可以得到Si浓度均匀分布的硅钢薄板.
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