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二氧化硅薄膜具有良好的硬度、光学、介电性质及耐磨、抗蚀等特性,在光学、微电子等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上广泛关注的功能材料.论述了有关二氧化硅薄膜的制备方法,相应性质及其应用前景.
二氧化硅薄膜的制备及应用
【摘 要】
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二氧化硅薄膜具有良好的硬度、光学、介电性质及耐磨、抗蚀等特性,在光学、微电子等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上广泛关注的功能材料.论述了有关二氧化硅薄膜的制备
【机 构】
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兰州大学,兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2003年4期
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