离子自组装成膜技术制备TiO2/SiO2薄膜光波导

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采用离子自组装(ISA)成膜技术制备了TiO2/SiO2复合薄膜光波导,研究了光波导的波导特性.结果表明,随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加,但同时光波导传输损耗增大.一般TiO2占10 wt%,此时,光波导中的光损耗较低.在更高的含量范围内,必须使TiO2分散.
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