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[学位论文] 作者：丁小柯,
来源：西安理工大学 年份：2009
本论文通过调整置多个磁控管极性于真空腔体周边均布条件下磁控管集合体所体现的磁场闭合状态，在不同沉积阶段于单晶硅基体上制备了纯金属Cr镀层。通过对不同沉积阶段镀层组织......
[学位论文] 作者：丁小柯,
来源： 年份：2009
本论文通过调整置多个磁控管极性于真空腔体周边均布条件下磁控管集合体所体现的磁场闭合状态,在不同沉积阶段于单晶硅基体上制备了纯金属Cr镀层。通过对不同沉积阶段镀层组织结构和性能的检测分析,研究不同磁场闭合状态对纯Cr镀层生长过程(形核、晶粒合并、连......
[期刊论文] 作者：栾亚,丁小柯,蒋百灵,鲁媛媛,
来源：人工晶体学报 年份：2009
利用非平衡磁控溅射离子镀技术于不同磁场闭合状态下在单晶硅基体上制备出Cr膜，采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪观察并分析了不同闭合状态下镀层的微观形貌和晶体择优生长趋...
[期刊论文] 作者：蒋百灵,曹政,丁小柯,鲁媛媛,,
来源：材料科学与工程学报 年份：2011
采用磁场完全闭合状态和不闭合状态两种磁场组态分别沉积Cr镀层,并利用Langmuir探针诊断其放电等离子体,测量了离子密度、电子密度和电子温度（EED）在两种磁场组态中的分布规律...
[期刊论文] 作者：蒋百灵,文晓斌,栾亚,丁小柯,李显,,
来源：材料热处理学报 年份：2009
利用非平衡磁控溅射离子镀技术于不同磁控管非平衡度和磁场闭合状态下在单晶硅基体上制备出Cr镀层,采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了不同生长阶段Cr镀层的微观形貌、表...
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