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[期刊论文] 作者：张轲,苗斌,丁祥桢,顾智琦,潘天龙,李加东,吴东岷,张秋菊,,
来源：压电与声光 年份：2017
设计并制作了一种液路自对准的高频硅基超声雾化器,利用有限元分析软件对器件的特性进行了系统的仿真分析,得到施加30V的激励电压后器件的阻抗特性,相应谐振频率下的位移、应...
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