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[学位论文] 作者：乔遂龙,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2007
在21世纪,微电子技术是信息产业的主要技术支撑之一,光刻技术一直是推动集成电路(IC)制造业向前发展的关键技术之一,广泛应用于电子封装、光电设备、探测器、MEMS设备和显示...
[期刊论文] 作者：曲东升,陈立国,李满天,乔遂龙,
来源：压电与声光 年份：2005
根据尺蠖运动原理设计了一种新型微定位仿生运动模块,以压电陶瓷作为驱动元件,柔性铰链为导向机构,实现大范围移动和高精度定位.采用模块化设计思想,将两个运动模块集成,研制...
[期刊论文] 作者：荣伟彬,宋亦旭,乔遂龙,孙立宁,赵雁南,李春江,,
来源：机器人 年份：2007
介绍了所研制的12in硅片预对准系统。首先，根据硅片预对准系统的任务和流程设计了系统的结构。其次，设计了预对准检测算法，采用最小二乘圆法对硅片圆心进行定位；提出了检测硅片缺......
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