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[期刊论文] 作者：李哲奎,李俊杰,金曾孙,吕宪义,白晓明,郑冰,田宏伟,于狭升,
来源：吉林大学学报(理学版) 年份：2005
对磁控溅射沉积得到的CNx膜在不同温度下进行真空退火，退火前后CNx膜的化学键合采用X射线光电子能谱表征．结果发现，沉积的CNx膜中氮原子与sp，sp^2，sp^3杂化碳原子相键合，并对经过退......
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