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[期刊论文] 作者：薛建明,二宫咎,今西信嗣,
来源：物理学报 年份：2004
利用飞行时间谱仪(TOF)技术测量了1-5MeV Si离子轰击SiO产生的Si+二次离子动能分布和溅射产额.实验发现,当入射离子能量在1-2MeV时,溅射产额随离子能量上升而下降,这个趋势利...
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