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[期刊论文] 作者:王悦,李建平,韩泾鸿,付秉相, 来源:真空科学与技术 年份:1998
用RGTO方法制备多孔、颗粒状SnO2薄膜;根据SEM观察结果建立简单导电模型,并验证其导电机制主要是晶界导电;研究纯SnO2薄膜及掺杂SnO2薄膜对CO,乙醇等气体的气敏特性。掺Pt的薄膜...
[期刊论文] 作者:申功烈,欧军,李自高,付秉相,王莉, 来源:真空科学与技术 年份:1998
介绍氧化钨基永久性的电可重编程的可变电阻器作为用于电子神经网络的模拟突触记忆联接器。该器件具有类晶体管的多层薄膜器件结构,它是依次由直流溅射和电子束蒸发工艺沉积到......
[期刊论文] 作者:陈绍凤,韩泾鸿,陈德勇,王利,付秉相, 来源:功能材料与器件学报 年份:1996
本文研究了背面引线离子敏感场效应器件Backsidecontactionsensitivefieldeffecttransistor(BSC-ISFET)的特殊工艺技术。重点阐述了双面光刻,各向异性腐蚀,深坑加工,腐蚀自停止等技术,实现了源漏电极从芯片背面引出,给出了扫描电镜分析照片。提......
[会议论文] 作者:王于杰;崔大付;蔡浩原;郑自攀;李亚亭;付秉相;, 来源:第八届敏感元件与传感器学术会议 年份:2003
SPR—2000型生物传感器系统又称SPR生化分析仪,是由中科院电子学研究所结合十余年的科研探索,自行设计制造的新一代生物传感器.SPR(Surface Plasmon Resonance)生物传感技术...
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