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[期刊论文] 作者：何双赐,钟志成,魏彦锋,汪竞阳,
来源：表面技术 年份：2018
目的研究Al靶直流溅射功率对Al掺杂ZnO（AZO）薄膜光电性能的影响。方法以金属Al和ZnO陶瓷作为靶材,采用直流与射频双靶磁控共溅射的方法,在玻璃基片上制备AZO薄膜。通过改变Al靶...
[期刊论文] 作者：何双赐,钟志成,汪竞阳,魏彦锋,
来源：压电与声光 年份：2018
以Al金属和ZnO陶瓷作为溅射靶材,采用直流和射频双靶磁控共溅射的方法在玻璃衬底上制备Al掺杂ZnO（AZO）透明导电薄膜,采用X线光电子能谱仪、X线衍射（XRD）仪、扫描电子显微镜、原子......
[期刊论文] 作者：何双赐, 钟志成, 魏彦锋, 汪竞阳, 张旭明,,
来源：化工新型材料 年份：2019
以金属Ti和ZnO陶瓷作为溅射靶材,采用直流和射频双靶磁控共溅射方法在玻璃衬底上制备Ti掺杂ZnO（TZO）透明导电薄膜,探究了衬底温度对薄膜光电性能的影响。采用扫描电子显微镜、...
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