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[学位论文] 作者:佘东生,, 来源:大连理工大学 年份:2006
聚合物微结构的热压成形技术以其制作周期短、方法简单、易于实现批量生产等优点,已经应用于聚合物微流控芯片、聚合物光波导器件等的制作,具有良好的应用前景。随着聚合物微...
[学位论文] 作者:佘东生,, 来源: 年份:2013
在MEMS器件商品化的过程当中,动态测试技术扮演着十分重要的角色。对于很多微传感器和微执行器来说,其功能主要是通过内部微结构的微小位移和变形来实现的,因此对微结构的动...
[期刊论文] 作者:杨一柳,佘东生,于震,, 来源:渤海大学学报(自然科学版) 年份:2016
为了研究微悬臂梁的翘曲状态对其固有频率的影响,使用有限元分析的方法对小长宽比和大长宽比两种结构尺寸的硅微悬臂梁在不同曲率半径下的前五阶模态固有频率进行了仿真分析.结......
[期刊论文] 作者:杨一柳,佘东生,魏泽飞,, 来源:渤海大学学报(自然科学版) 年份:2015
为了获得双桥臂硅微悬臂梁的谐振频率随其质量块尺寸的变化规律,首先推导出了双桥臂硅微悬臂梁谐振频率的解析式,并对9组不同尺寸的双桥臂单晶硅微悬梁的谐振频率随附加质量块......
[期刊论文] 作者:陈雪叶,佘东生,魏兴,杨金成,, 来源:分析测试学报 年份:2013
设计了两步微反应器,对影响反应的几何参数进行了优化。对于微反应器的混合单元,设计了内肋型障碍物结构,用于产生混沌对流,促进样品混合。利用基于有限元原理的数值模拟软件...
[期刊论文] 作者:佘东生,王晓东,张习文,王立鼎,, 来源:光学精密工程 年份:2010
研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律,从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响,并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统,采用半导体冷阱实现低温环境,利用......
[期刊论文] 作者:佘东生,王晓东,张习文,王立鼎,, 来源:仪器仪表学报 年份:2010
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电...
[期刊论文] 作者:魏泽飞,李蕾,佘东生,徐文骥, 来源:表面技术 年份:2018
目的在提高轴承滚子表面质量的基础上获得具有一定凸度的表面轮廓。方法将自主搭建的电化学机械加工(electrochemical mechanical machining,ECMM)平台用于轴承滚子的表面加...
[期刊论文] 作者:张习文,王晓东,佘东生,王立鼎,, 来源:仪器仪表学报 年份:2009
研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统。对低温环境的产生及其关键问题、低温环境下的激励方法、信号检测方法,及高速数据采集方法进行了初步研究。采用半导体冷阱产生低温...
[期刊论文] 作者:李琨, 韩莹, 佘东生, 魏泽飞, 黄海礁,, 来源:化工学报 年份:2017
实现对井下工况的预测是及时掌握抽油井生产状态的有效方法,对提高油井生产效率和降低维护成本具有十分重要的意义。采用混沌理论实现抽油井井下工况的短期预测,首先将所提取...
[期刊论文] 作者:佘东生,王晓东1,2,,张习文,王立鼎, 来源:光学精密工程 年份:2010
研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律,从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响,并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统,采用半导体冷阱实现低温环境,利用压电......
[期刊论文] 作者:魏泽飞, 李蕾, 佘东生, 李琨, 徐文骥,, 来源:表面技术 年份:2018
目的研究磨削参数对电化学加工氧化膜去除质量的影响规律,以及各参数对氧化膜去除质量影响的稳定性和敏感性。方法在试件表面形成均匀一致,无缺陷电化学加工氧化膜的前提下,...
[期刊论文] 作者:王晓东,杨洋,佘东生,王涛,王立鼎,, 来源:测试技术学报 年份:2008
在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试。由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高......
[期刊论文] 作者:佘东生,杨一柳,李琨,王晓东,王立鼎,, 来源:仪器仪表学报 年份:2015
为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的温度系数模型。随后搭建了带有高温环境加载...
[期刊论文] 作者:孙屹博,王晓东,佘东生,王涛,王立鼎,, 来源:仪器仪表学报 年份:2009
利用虚拟仪器技术开发了高载条件下MEMS动态测试系统,实现了高载条件的监测与MEMS动态测试的自动控制。设计了高速离心转盘提供高载环境,选用压电陶瓷作为动态测试的激励装置,应......
[期刊论文] 作者:李晓轲,王晓东,佘东生,张涛,王立鼎,, 来源:测试技术学报 年份:2010
基于放电激励方法建立了高温环境下MEMS微构件动态特性测试系统,该系统主要由激励装置、激光多普勒测振仪、微构件温度控制系统组成.激励装置利用尖端放电产生的激波激励微构...
[期刊论文] 作者:魏泽飞,张斯文,佘东生,庞桂兵,徐文骥, 来源:渤海大学学报(自然科学版) 年份:2021
零件的表面质量对其使用性能具有决定性影响.由于加工机理不同,不同的加工方法对表面质量的影响也不相同.为研究电化学机械加工(electrochemical mechanical finishing,ECMF)...
[期刊论文] 作者:佘东生, 杨一柳, 魏泽飞, 王晓东, 王立鼎,, 来源:仪器仪表学报 年份:2015
为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数,本文提出了一种以高压电容空气放电为手段,以激波冲击为特征的底座激励方法。阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和......
[期刊论文] 作者:赵猛,佘东生,陈彦泽,赵彦修,ZhaoMeng,SheDongsheng,ChenYanze,ZhaoYanxiu, 来源:中国特种设备安全 年份:2015
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