研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律，从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响，并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统，采用半导体冷阱实现低温环境，利用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源，通过底座的冲击激励，使微悬臂梁处于自由衰减振动状态，使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测，从而获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的测试系统，在-50 ℃~室温的环境下对单晶硅微悬臂的谐振频率进行了测试，结果表明，随着温度的降低，微悬臂梁的谐振频率略有增大，其谐振频率的温度变化率约为-0.263 Hz/K，与理论分析的结果基本一致。该测试装置能够有效地完成在-50 ℃~室温环境下微构件的动态特性测试。