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[期刊论文] 作者：余金豪,
来源：电子世界 年份：2018
本文报道了硅电化学腐蚀过程中宏孔硅腐蚀速率的影响因素研究。通过改变HF溶液浓度、表面活性剂类型、腐蚀电压三个方面进行光电化学腐蚀实验。通过电子显微镜和金相显微镜观...
[学位论文] 作者：余金豪,
来源：长春理工大学 年份：2018
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[期刊论文] 作者：余金豪, 杨炳辰, 杨超, 陈奇, 凌海容, 王蓟, 王国政,,
来源：半导体技术 年份：2018
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