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[期刊论文] 作者:元荣载,李丽,李政良,, 来源:洁净与空调技术 年份:2012
在传统的洁净间气流管理管控的基础上,着重介绍了TFT LCD制造业用洁净室系统的特性,以及在TFT LCD制造行业普遍出现的重要异常气流问题,提供了针对性的有效气流改善实施方案,...
[期刊论文] 作者:元荣载,张小松,周素娟,, 来源:流体机械 年份:2010
以生产LCD的垂直层流型工业用洁净厂房为研究对象,采用现场实测的方法,对洁净室内不同洁净度的两区域的气流分布进行了测量,分析了对气流造成影响的因素并提出了改善方案。研究......
[期刊论文] 作者:元荣载,张小松,郑秀一, 来源:洁净与空调技术 年份:2005
通过室内的粉尘浓度,即重视清净度的LCD制造工厂为研究场所,使用垂直层流方式的产业用洁净室(I.C.R:Industrial Clean Room)内进行现场实测与数据分析,得出结论:第一,证明现...
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