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[会议论文] 作者：刘朋娟;范平;郑壮豪;罗景庭;梁广兴;张东平;,
来源：TFC`15全国薄膜技术学术研讨会 年份：2015
本文在常温下使用ZnAl合金靶材,采用直流磁控反应溅射技术,在PI柔性衬底上制备掺铝氧化锌(ZnO：Al,AZO)热电薄膜.通过改变氩氧比及退火热处理对薄膜的微结构和热电性能进行...
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