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[期刊论文] 作者：李周,金小常,刘阳太,,
来源：仪器制造 年份：1981
通过对光刻机与激光精密工作台中的氮化钢与轴承钢制造的七种精密导轨进行油浴时效,氨气、氢气与低真空保护的消除应力退火试验,得出了真空退火可充分消除机械加工的残余应力...
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