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[期刊论文] 作者：张番,刘芳,陈爱英,刘颍龙,,
来源：材料导报 年份：2013
利用直流磁控溅射法在硅基底上沉积出纳米晶钛薄膜，研究了背底真空度、溅射功率和基底温度对纳米晶钛薄膜结构的影响。实验证明，当背底真空度高于8．8×10^-5Pa时，可制备出致......
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