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[会议论文] 作者：劉承掦;劉子安;傅尉恩;,
来源：第七届海峡两岸计量与质量研讨会 年份：2008
偏振散射光量测技术是一个非常有效的技术可以用来侦测晶圆表面上的附着微粒、缺陷和表面粗糙度等。工研院量测中心成功的发展出一套多方位的光学偏振散射光量测系统，可以有效......
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