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[期刊论文] 作者：Becky,Pinto,加藤昌彦,
来源：集成电路应用 年份：2008
在半导体行业的早期，在实施缺陷检查时，会将晶圆置于光线明亮之处，查看表面上的灰尘和其它微粒，并计算散射中心的数量。上世纪90年代初，业界领先企业开始引入在线缺陷检查，以提高良......
[期刊论文] 作者：Becky Pinto,加藤昌彦,KLA-Tencor,,
来源：集成电路应用 年份：2008
在半导体行业的早期,在实施缺陷检查时,会将晶圆置于光线明亮之处,查看表面上的灰尘和其它微粒,并计算散射中心的数量。上世纪90年代初,业界领先...
[期刊论文] 作者：张清廉,王荣光,中佐啓治郎,加藤昌彦,,
来源：宝钢技术 年份：2010
研究用射频磁控溅射设备对SUS304钢表面进行600 W×14.4 ks或600 W×28.8ks的Ar+溅射蚀刻处理,并用SEM、SIM和EBSP对表面形貌进行微观表征。结果表明:600W溅射蚀刻功...
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