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[学位论文] 作者：史江北,
来源：天津大学 年份：2016
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[会议论文] 作者：史江北,郑晓刚,李震远,李爱民,张启华,李明,
来源：第五届中国二次离子质谱学会议 年份：2014
半导体制造中离子注入(implant)的精确性将直接影响到产品众多电性参数的优良程度.而离子注入经常会因为机器异常或制程设计缺陷使注入离子的能量、剂量和角度等产生偏差.随...
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