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[学位论文] 作者：吕起鹏,,
来源：大连理工大学 年份：2004
高精密光学系统对光学薄膜的光学和力学等性能的要求日益提高。光学元件在满足高的光谱特性、超低吸收率和散射损耗的同时,还要求其镀膜后保证高的面形精度以及高的环境稳定...
[学位论文] 作者：吕起鹏,
来源：长春理工大学 年份：2014
针对传统磁控溅射方法沉积氮化钛涂层时存在沉积温度高、等离子体密度低;而沉积氧化铝薄膜时，条件范围很窄，较难控制，同时也很难获得高纯度的氧化铝薄膜的缺点。本文提出了一种......
[期刊论文] 作者：李刚,吕起鹏,公发权,王锋,孙龙,金玉奇,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2014
为实现高纯度氧化铝薄膜的快速稳定溅射沉积,采用非平衡闭合磁场孪生靶技术,利用脉冲直流磁控溅射方法,首先对溅射电压随氧流量的迟滞现象进行了研究,在此基础上,提出了一种...
[期刊论文] 作者：公发全,李刚,吕起鹏,贾春燕,刘万发,董闯,,
来源：长春理工大学学报(自然科学版) 年份：2013
薄膜溅射过程中杂质污染问题是影响薄膜质量的重要因素,会造成薄膜的吸收和散射损耗增大、结合力下降,形成针孔等。采用射频磁控溅射沉积氧化铝薄膜时,发现在不同负偏压条件...
[期刊论文] 作者：吕起鹏, 李刚, 公发全, 王锋, 卢俊, 孙龙, 金玉奇,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
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