【摘 要】
：
薄膜溅射过程中杂质污染问题是影响薄膜质量的重要因素,会造成薄膜的吸收和散射损耗增大、结合力下降,形成针孔等。采用射频磁控溅射沉积氧化铝薄膜时,发现在不同负偏压条件
【机 构】
：
中国科学院化学激光重点实验室,大连理工大学,长春理工大学理学院
论文部分内容阅读
薄膜溅射过程中杂质污染问题是影响薄膜质量的重要因素,会造成薄膜的吸收和散射损耗增大、结合力下降,形成针孔等。采用射频磁控溅射沉积氧化铝薄膜时,发现在不同负偏压条件下,真空室内的金属离子会造成不同程度薄膜污染,采用XPS对污染物进行了测试表征,并对污染来源进行了分析,最后得出结论：在较高负偏压条件下真空室器壁金属溅射,是造成镀制氧化铝薄膜的重要污染源。
其他文献
许多老年人早晚都习惯吃大饼、油条、蛋糕、馒头、豆浆、稀饭，也有人吃鸡蛋、喝牛奶等。虽说这些食品含有丰富的碳水化合物及蛋白质、脂肪，但均属于酸性食物，唯独缺少了人体所需的碱性食品。 如果早餐再吃点蔬菜补充一下，就能做到酸碱平衡了。因为蔬菜不仅含有丰富的胡萝卜素和维生素，还属于碱性食品。饮食一旦搭配不当，酸性食品在饮食中超量，就容易导致血液偏酸性，使血液色泽加深，黏度增大，还会出现缺钙症，从而使老年
目的 检测肝癌患者血清聚腺苷酸二磷酸核糖聚合酶-1 （PARP-1）、半胱氨酸天冬氨酸蛋白酶-3（Caspase-3）蛋白表达水平,并探讨其在肝癌发生发展中的临床意义。方法 收集2016年8月至20
目的比较超声引导下不同浓度罗哌卡因对老年患者臂丛神经的阻滞效果。方法选择2017年1～12月化州市人民医院麻醉科老年上肢手术患者80例,以随机数表法将其分为三组,A组25例给予
5月19日,“震荡波”病毒疫情中出尽风头的瑞星公司突然召开新闻发布会,在业界率先推出“安全预警系统”,并投入千万资金展开名为“欢乐一夏安全到家”的大规模市场促销活动,
<正>IRT 的等级反应模型(GRM)被广泛用于测查多级计分测验的项目功能差异研究。而职业兴趣测验中长期存在的性别差异,其来源可能来自被试本身的兴趣差异,也可能来自项目本身
受到新的经济形势以及新型科技技术的影响,各医疗机构逐渐提高了预算绩效管理意识,对于预算工作的开展也更加注重其过程与结果,提升了预算绩效管理效率。预算是医院财务管理
目的初步探讨N0期鼻咽癌调强放疗（IMRT）技术行上颈部临床靶区（CTV2）优化后对腮腺功能保护的剂量学分布,为临床实践提供科学依据。方法 2016年3~10月,收集江门市中心医院T1~4N0M0
城市商业银行是新型的股份制商业银行,它的成立,对解决城市信用社经营规模小,抵御风险能力弱,结算渠通不畅通等问题起到一定的积极作用,为城市中小企业和居民提供金融服务,促
我国处在一个大拆大建的时代,旧城更新是这个时代中的热点问题。在这个过程中,规划师责无旁贷地肩负起了"拯救"城市的任务,可目前的很多规划不但没有促进城市的发展,反而破坏
脂肪干细胞(ADSCs)是一类具有自我复制能力的多潜能细胞,属成体干细胞,因其获取方便,损伤小等优势近年来收到广泛关注。国内外已有大量基础研究证实脂肪干细胞对各种原因造成