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[期刊论文] 作者：吴玉韬,翁小龙,邓龙江,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
采用射频磁控溅射技术，在水冷的有机玻璃（PMMA）和聚乙烯对苯二甲酯（PET）柔性膜上，低温沉积ITO薄膜。研究了膜厚对其形貌、光电以及电磁屏蔽特性的影响。结果表明，表面形貌随膜厚的增......
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