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采用射频磁控溅射技术，在水冷的有机玻璃（PMMA）和聚乙烯对苯二甲酯（PET）柔性膜上，低温沉积ITO薄膜。研究了膜厚对其形貌、光电以及电磁屏蔽特性的影响。结果表明，表面形貌随膜厚的增加有明显变化，进而对样品的光电性能产生明显影响，可见光平均透光率在75％-86％，电阻率在1×10^-3 Ω·cm-3×10^-3 Ω·cm范围内变化；其样品的总屏蔽效能也随着膜厚的增加而逐渐增大。通过适当调节膜厚，可分别实现样品最大平均透光率86．41％，最小电阻率1．19×