搜索筛选:
搜索耗时0.0284秒,为你在为你在61,042,058篇论文里面共找到 6 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：吴越颖,
来源：北京工业大学 年份：2004
a-Si:H薄膜已经广泛应用于太阳能电池,而且作为薄膜场效应管在电子摄像,大面积平板显示器等领域的应用也有很大进展.a-Si:H的沉积速率和品质很大程度上受到制备工艺的影响.为...
[学位论文] 作者：吴越颖,
来源：北京工业大学 年份：2004
...
[期刊论文] 作者：胡跃辉,吴越颖,陈光华,王青,张文理,阴生毅,
来源：半导体学报 年份：2004
为了定量地得到磁场梯度对a-Si：H薄膜沉积速率的影响，对单磁场线圈分散场MwECRCVD系统等离子体室和沉积室中用三种方法得到的磁场形貌进行了研究．通过洛伦兹拟合的方法定量地得......
[期刊论文] 作者：殷生毅,陈光华,吴越颖,王青,刘毅,张文理,宋雪梅,邓金祥,
来源：半导体学报 年份：2004
为了简化多电磁线圈MWECR—CVD装置，提出将单个电磁线圈和一个永磁体单元组合，以形成所需的新型磁场，这一磁场可使等离子体集聚于样片台上方，显著提高了等离子体的能量密度，应用这......
[期刊论文] 作者：荣延栋,阴生毅,胡跃辉,吴越颖,朱秀红,周怀恩,张文理,邓金,
来源：功能材料 年份：2004
采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-Si:H薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比较A样品(加入热丝)和B样品(未加热丝),得出...
[期刊论文] 作者：吴越颖,胡跃辉,阴生毅,荣延栋,王青,高卓,李瀛,宋雪梅,陈,
来源：功能材料 年份：2004
我们用热丝辅助MW ECRCVD系统,在热丝温度分别为0、1350、1400、1450、1500、1600和1700℃时制备出a-Si:H薄膜.通过膜厚测定,红外光谱分析光、暗电导测量等手段,分析了其沉积...
相关搜索：
