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[期刊论文] 作者:周健彪,杨子晗,梁艳梅, 来源:光电子·激光 年份:2020
在基于平行平板双光路横向剪切干涉仪中,如果两个方向的平行平板之间存在角度误差,将会使得两个方向的剪切干涉图的剪切方向不正交,最终影响波前测量的准确度.本文通过仿真实...
[期刊论文] 作者:周健彪,张慕阳,梁艳梅, 来源:光子学报 年份:2020
对平行平板双光路横向剪切干涉仪的装调进行了研究,提出了一种矫正两个平行平板之间角度误差的方法.输出激光的波前采用Zernike多项式拟合,经过理论推导,发现两个方向差分波...
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