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[会议论文] 作者：唐武;殷学松;邓龙江;,
来源：2009全国功能材料科技与产业高层论坛 年份：2009
采用磁控溅射方法,在Al2O3基体上沉积纯Au膜和具有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层金属膜。利用四点探针法测试退火前后纯Au膜及有缓冲层的Au/NiCr/Ta多层金属膜表面电阻率的变化。结...
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