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[期刊论文] 作者：陈勇平,姬常晓,黄志海,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
介绍了半导体热氧化工艺以及热氧化工艺过程中外燃式氢氧合成系统的机理和优势,分析氢氧合成在使用过程中潜在的安全风险,有针对性的从结构、电气硬件和软件方面优化设计,提...
[期刊论文] 作者：刘文峰, 周大良, 杨晓生, 成文, 姬常晓,,
来源：太阳能 年份：2014
介绍了表面钝化技术在晶体硅太阳电池中的发展和应用,详细阐述了采用热氧化和氢氟酸减薄的方法来制备SiO2钝化膜。实验分别采用800℃、850℃、900℃和950℃对发射极进行热氧...
[期刊论文] 作者：黄志海,陈勇平,赵志然,闫海莲,姬常晓,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
针对在以BBr3为液态掺杂源的N型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通...
[期刊论文] 作者：陈庆广,邓斌,王学仕,万喜新,姬常晓,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺...
[期刊论文] 作者：姬常晓,黄志海,程文进,赵志然,张威,汪已淋,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
针对高效晶硅太阳电池对表面扩散掺杂技术的要求,阐述了干法硼扩散掺杂原理及弊端;通过引入湿法再分布扩散方式,分析了气体流量、水汽流量和工艺匹配性等因素对硅片表面扩散...
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