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[学位论文] 作者:姬进才, 来源:郑州大学 年份:2020
近年来,GaN纳米柱作为光电子集成重要的潜在组成部件,吸引了人们的广泛关注。相对于硅(Si)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等其它半导体材料,GaN纳米柱可采用自催化方法制备,去除了催化物对纳米材料造成的污染,而且氮化物与砷烷、磷烷等制备半导体器件常用的掺杂源......
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