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[期刊论文] 作者：潘鹏,孙伏俊,杨飞雨,汪成伟,汝长海,,
来源：微纳电子技术 年份：2015
为了能实现跨尺度纳米定位操作,研制了一个基于粘滑驱动机理的纳米定位平台。采用柔性铰链的驱动机构,在对其在垂直方向上和驱动方向上的刚度进行分析的基础上,进行尺寸优化,...
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