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[期刊论文] 作者：张保军,孙滨如,
来源：电声技术 年份：1997
本文利用化学气相相宙积方法，通过含碳气体的直流辉光放电分解过程，在球冠形金属高频振膜的两上表面上同时沉积出一定厚度的类金刚石碳膜，形成金属－类金刚石复俣高频振膜。该振膜......
[期刊论文] 作者：张保军,孙滨如,李方,陶中达,
来源：电声技术 年份：1997
声学测量用电容传声器的频率响应范围和灵敏度，与所用振动膜材料的物理性质密切相关，理论表明金刚石具有优异的声学性能。本文利用多排直丝化学气相沉积技术，以Ｈ２＋ＣＨ４的混合气体为工作......
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