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[期刊论文] 作者:信思树,黎秉哲,郭胜,袁俊,孙翔乐,王甜姗, 来源:云光技术 年份:2020
本文工作主要研究了InSb红外探测器表面钝化工艺问题,逐一探讨了射频功率、R(SiH4:N2O)配比、沉积温度、工作压强等工艺参数对InSb芯片表面钝化工艺的影响。将不同条件下获得...
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