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[会议论文] 作者：徐成海,郝璐,高亚杰,孙能运,
来源：中国真空学会真空获得与测量学术交流会 年份：2001
该文介绍采用单机制冷压缩机组却扩散泵档板，通过实验证实，它是一种降低扩散泵返油率，提高极限 真空度的有效方法。...
[期刊论文] 作者：李云奇,徐成海,关奎之,王继常,张世伟,崔承霖,王文昌,邵云飞,曹淑艳,孙能运,
来源：真空 年份：1993
本文叙述ＺＺ－３２００Ｊ型高真空镀膜机的结构性能并就设备中蒸发源的最佳配置。真空系统软连接等问题进行探讨。This article describes the ZZ-3200J-type high vacuum coating machine...
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