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[会议论文] 作者：韩立,田丰,安秉谦,顾文琪,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
电子束曝光机是半导体工业中的一个重要设备,为了充分研究加速电压对于电子束曝光的影响,高压透射电子显微镜被改造成电子束曝光系统.改造后的系统将用于研究加速电压和光刻...
[期刊论文] 作者：武丰煜,唐文剑,张福安,安秉谦,
来源：电工电能新技术 年份：1995
本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。Th......
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