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[期刊论文] 作者：宋泉珍,,
来源：红外与激光技术 年份：1987
本文描述用离子探针显微分析法研究锑化铟器件表面沽污的情况。研究发现:各工艺过程中采用的容器、化学试剂、去离子水及工作环境,都是杂质沽污的主要来源。离子探针显微分析...
[期刊论文] 作者：孙则,宋泉珍,,
来源：激光与红外 年份：1984
引言InSb红外光电探测器的性能尤其阻抗除与P-N特性有关外,与表面状态直接有关。近几年国外一些研究人员采用ESCA和AES并结合离子溅射技术研究了InSb扩散Cd的P-N结,各种抛光...
[期刊论文] 作者：夏春华,陈利静,宋泉珍,,
来源：红外与激光技术 年份：1990
用腐蚀剥层并结合阳极氧化染色和磨角阳极氧化染色两种方法测试了半开管扩散InSb器件p-n结的结深.两种测试方法结果基本一致。通过结深,对控制扩散条件和其它工艺条件用于半...
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