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[期刊论文] 作者:杜晓松,宋远强1,杨邦朝,
来源:材料导报 年份:2005
分别从热力学过程、化学过程、工艺过程3个方面综述了MOD(金属有机物热分解)成膜方法。重点论述了MOD成膜的推动力和热处理工艺中薄膜结晶状态的改变。在此基础上对薄膜的性能......
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