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[期刊论文] 作者：宫岱博,
来源：中国科技投资 年份：2018
磁控溅射可以实现在多种基片上几乎任何材料的沉积,有附着能力强,溅射速率快,低温高速等优点,在新材料领域有着十分重要的应用.由于化石燃料的消耗不断加剧,造成了一系列环境...
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