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[期刊论文] 作者：居晶慧,
来源：微细加工技术 年份：1991
本文讨论了影响常规静电扫描系统的均匀性的因素,并提出一种离子注入机的计算机控制扫描系统。...
[期刊论文] 作者：居晶慧,
来源：微细加工技术 年份：1990
从离子源引出的离子束,在沿着注入机的主光路系统运行到基片的过程中,要受到许多控制。本文所论述的束断系统,其作用是当基片上的注入剂量达到给定标准时,将离子束偏移...
[期刊论文] 作者：居晶慧,
来源：微细加工技术 年份：1989
一、前言700keV高能离子注入机,其靶室设计采用了旋转靶结构。如图1所示,在旋转靶盘上均布着8个靶位,分别称为1号靶位、2号靶位、……依此类推至8号靶位。其中1～7号靶用...
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