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本文讨论了影响常规静电扫描系统的均匀性的因素,并提出一种离子注入机的计算机控制扫描系统。
离子注入机的计算机控制扫描系统
【摘 要】
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本文讨论了影响常规静电扫描系统的均匀性的因素,并提出一种离子注入机的计算机控制扫描系统。
【机 构】
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机械电子工业部第48研究所长沙410111
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年3期
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