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[期刊论文] 作者:计玉帮,廖国期,, 来源:洁净与空调技术 年份:2011
结合TFT-LCD产业的生产特点,着重阐述了TFT-LCD工厂冷热源系统设计中冷冻水供应中低温系统分开设置、冷冻水及冷却水采用大温差、冷水机组热回收、压缩空气机组压缩热回收、自...
[会议论文] 作者:廖国期,安志星, 来源:中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛 年份:2014
本文对微电子工厂中的大宗气体系统的设计过程作了概括性的描述,同时结合自己对多个TFT-LCD工程设计经验,对TFT-LCD8.5G厂中的大宗气体的需求及系统配置案例做介绍,指出大宗...
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