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[期刊论文] 作者:严六明,吴伟,张靖巍,陈念贻,彭瑞伍, 来源:半导体学报 年份:1995
本文用DTA法测量了Ga-In-As-Sb系合金的液相线温度,并用滑舟法在Gash衬底上生长液相外延膜,并用电子探针法分析膜的成分.在此基础上利用实验数据和文献数据训练人工神经网络模型,神经网络模型用交叉......
[期刊论文] 作者:邹吕凡,王占国,孙殿照,张靖巍,李建平,孔梅影,林兰英, 来源:半导体学报 年份:1997
用GSMBE(GasSourceMolecularBeamEpitaxy)技术在国内首次研究了应变Si1-xGex/Si异质结材料的生长.并用X射线双晶衍射技术对样品进行了测试分析.对于Si(0.91)Ge(0.09)和Si(0.86)Ge(0...
[期刊论文] 作者:邹吕凡,王占国,孙殿照,何沙,范缇文,刘学锋,张靖巍, 来源:半导体学报 年份:1996
用二次离子质谱对As+注入Si1-xGex的快速退火行为进行了研究,Si1-xGex样品中Ge组分分别为x=0.09,0.27和0.43,As注入剂量为2×10^16cm^-2,注放能量为100keV,快速退火温度分别为950℃和1050℃,时间均为18秒,实验结果表明,Si2-xGex样品,As浓度分布呈组分密切相关......
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