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[期刊论文] 作者：徐予晗,,
来源：广州化工 年份：2009
综合考虑多晶硅用氯化氢合成炉的腐蚀机理、防腐措施及工艺要求，对其进行性能分析，提出为了控制腐蚀，氯化氢合成炉的合理结构。...
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