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[会议论文] 作者：苏现军,惠拥涛,魏志儒,何家元,
来源：2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会 年份：2003
本文提出了用射频溅射淀积技术沉积SiO红外减反保护膜的方法,对形状复杂红外罩,用该法能得到热蒸发无法达到的牢固致密薄膜,并给出了其光谱曲线....
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