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本文提出了用射频溅射淀积技术沉积SiO<,2>红外减反保护膜的方法,对形状复杂红外罩,用该法能得到热蒸发无法达到的牢固致密薄膜,并给出了其光谱曲线.
射频溅射淀积锥形玻璃窗口红外减反保护膜
【摘 要】
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本文提出了用射频溅射淀积技术沉积SiO红外减反保护膜的方法,对形状复杂红外罩,用该法能得到热蒸发无法达到的牢固致密薄膜,并给出了其光谱曲线.
【机 构】
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航空工业总公司第014中心(洛阳)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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