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[会议论文] 作者：文雄伟[1]李路明[1]江兴流[2]韩丽君[2]潭轶平[2],
来源：2004年高能束流加工技术国际研讨会 年份：2004
介绍了在不同衬底温度下,用强脉冲电子束在单晶硅(110)衬底上沉积LiNbO3薄膜的工艺过程,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的试验结果.使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(X...
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