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[期刊论文] 作者：沈浩平,李翔,昝兴利,汪雨田,纪秀锋,林键,
来源：半导体杂志 年份：1998
本文介绍了一种全新的硅单晶生长方法。通过大量实验对ＣＦＺ法生长技术和特点作了描述，并对ＣＦＺ的应用作了讨论。...
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