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[期刊论文] 作者：郭新贺,王磊,景玉鹏,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷...
[期刊论文] 作者：杨楷,李志刚,景玉鹏,陈大鹏,,
来源：电子元件与材料 年份：2008
介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解...
[期刊论文] 作者：王磊,惠瑜,高超群,景玉鹏,,
来源：微纳电子技术 年份：2010
简要回顾了传统RCA清洗工艺的历史背景和清洗原理,介绍了RCA清洗随着工艺节点减小存在的局限性。在此基础上,阐述了以超临界二氧化碳(SCCO2)为媒质的新型清洗工艺,该工艺流程...
[会议论文] 作者：杨楷;李志刚;景玉鹏;陈大鹏;,
来源：2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会 年份：2007
针对用于监测危险化学品的MEMS传感器的特点,研制了监测危险化学品敏感元件或传感器的电学参数批测试平台.为了研究本测试平台对MEMS传感器阻抗的测量不确定度与阻抗的函数关...
[期刊论文] 作者：王磊,惠瑜,高超群,景玉鹏,,
来源：半导体学报 年份：2011
A novel wet vapor photoresist stripping technology is developed as an alternative to dry plasma ashing and wet stripping.Experiments using this technology to st...
[期刊论文] 作者：惠瑜,高超群,王磊,景玉鹏,,
来源：半导体学报 年份：2010
The multi-SCCO_2(supercritical carbon dioxide) release and dry process based on our specialized SCCO_2 semiconductor process equipment is investigated and the r...
[期刊论文] 作者：高超群,李全宝,刘茂哲,景玉鹏,,
来源：电子工业专用设备 年份：2008
传统半导体清洗技术无法对硅片上的微小器件间的缝隙和线条进行有效清洗，以超临界二氧化碳为媒体的清洗技术则可克服上述缺点。超临界二氧化碳具有零表面张力、低黏度、强扩散......
[期刊论文] 作者：高超群, 李全宝, 刘茂哲, 景玉鹏,,
来源：微细加工技术 年份：2008
半导体IC清洗技术由于水溶液的表面张力大而无法进入硅片上器件的狭缝与电路线条间隙中进行清洗，同时不易干燥，且干燥时会造成二次污染，从而使得整个工艺耗水量大且清洗效果不佳......
[期刊论文] 作者：康恒,李勇滔,李超波,景玉鹏,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2019
针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负反馈的方法能够有效降低真......
[期刊论文] 作者：孔延梅,高超群,景玉鹏,陈大鹏,,
来源：物理学报 年份：2011
本文利用微机电系统技术实现气敏传感器的主要思想,设计了基于超棱镜效应的光子晶体分光系统,它能够实现高精度的分光,使得光谱仪的分辨率有很大程度的提高,并且为应用于许多...
[期刊论文] 作者：惠瑜,高超群,王磊,景玉鹏,陈大鹏,
来源：微纳电子技术 年份：2010
提出了一种新型电磁驱动推拉式射频MEMS开关。针对传统静电驱动单臂梁开关所需驱动电压大、恢复力不足等问题,设计了一种推拉式开关结构,降低了驱动电压(电流),提高了开关的...
[期刊论文] 作者：景玉鹏,前中一介,藤田孝之,高山洋一郎,
来源：微纳电子技术 年份：2003
将非金属元素碘作为硅的KOH腐蚀液的添加物,在对(100)和(110)单晶硅片的各向异性腐蚀中,获得了更为丰富的异向腐蚀特性和更为光滑的腐蚀表面.当温度在95℃,KOH腐蚀液中碘的摩...
[期刊论文] 作者：景玉鹏,前中一介,藤田孝之,高山洋一郎,
来源：微纳电子技术 年份：2004
将非金属元素碘作为硅的KOH腐蚀液的添加物,在对(100)和(110)单晶硅片的各向异性腐蚀中,获得了更为丰富的异向腐蚀特性和更为光滑的腐蚀表面。当温度在95℃,KOH腐蚀液中碘的...
[期刊论文] 作者：康恒,林琳,符庭钊,李勇滔,夏洋,景玉鹏,,
来源：微纳电子技术 年份：2017
针对传统快速热处理工艺(RTP)在退火过程中引起杂质再扩散导致难以制作浅结器件的问题,采用了微波退火的方式进行退火,有效降低了热预算,能够解决杂质再扩散的问题。相比传统...
[期刊论文] 作者：黄洛俊,康恒,程嵩,李勇滔,夏洋,景玉鹏,,
来源：微纳电子技术 年份：2017
针对传统去离子水和高纯氮气组合的两相流清洗方法对CMOS图像传感器上颗粒污染物清洗良率不足的问题,采用了一种喷嘴式超临界二氧化碳（SSCO2）清洗的方法来清洗CMOS图像传感器。...
[期刊论文] 作者：黄洛俊,康恒,程嵩,李勇滔,夏洋,景玉鹏,
来源：微电子学 年份：2017
针对半导体工艺中去离子水的表面张力导致显影干燥过程中光刻胶纳米线条容易发生倒伏的问题,采用了微波干燥方法,以抑制光刻胶纳米线条倒伏.利用微波的热效应和非热效应,降低...
A method to restrain the charging effect on an insulating substrate in high energy electron beam lit
[期刊论文] 作者：于明岩,赵士瑞,景玉鹏,施云波,陈宝钦,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2014
Pattern distortions caused by the charging effect should be reduced while using the electron beam lithography process on an insulating substrate. We have develo...
[期刊论文] 作者：石莎莉,陈大鹏,景玉鹏,欧毅,叶甜春,徐秋霞,,
来源：Chinese Physics B 年份：2010
During the forming process of the free-standing structure or the functional cavity when releasing the high aspect ratio sacrificial layer,such structures tend t...
[期刊论文] 作者：石莎莉,陈大鹏,欧毅,景玉鹏,徐秋霞,叶甜春,,
来源：Chinese Physics B 年份：2010
This paper presents a novel anti-shock bulk silicon etching apparatus for solving a universal problem which occurs when releasing the diaphragm (e.g.SiNx),that...
[期刊论文] 作者：景玉鹏, 黄钦文, 石莎莉, 焦斌斌, 李超波, 董立军,,
来源：电子工业专用设备 年份：2006
RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由...
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