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[期刊论文] 作者：曲征辉,
来源：装备维修技术 年份：2021
随着半导体产业的发展,涂胶显影设备已经逐步国产化,但芯片制造厂对涂胶显影设备的要求也在不断的提高,国产设备与进口设备也存在一定技术差距。本文介绍一种新型的叠层涂胶显影设备,采用诸多新技术与新原理,具有高产能,低占地,运行稳定,便于维护等 特点。......
[期刊论文] 作者：曲征辉,
来源：建筑工程技术与设计 年份：2021
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[期刊论文] 作者：曲征辉,
来源：汽车博览 年份：2020
在芯片制造过程中,显影是光刻制程必不可少的一个工艺环节,主要通过显影机来完成.因此,显影液保温与供应是显影机最重要的一个功能.显影液的温度会直接影响显影机进行晶圆的...
[学位论文] 作者：曲征辉,
来源： 年份：2012
液压缸是一种能量转换的液压执行元件,它能将液压能转变为直线运动的机械功,因而是液压系统中的执行器。随着我国科学技术的不断发展,液压缸在液压传动与控制中的应用也越来越广泛,液压缸的功用被不断地开发并利用。而与此同时,用户对于液压缸性能的要求也越来......
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