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[学位论文] 作者：曹君敏,,
来源： 年份：2012
本文在微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体辅助下,分别利用射频非平衡磁控溅射和高压脉冲非平衡磁控溅射两种方法,以高纯单晶Si、高纯石墨为靶材,氩气为溅射气体,制备了富硅碳...
[期刊论文] 作者：曹君敏,陈中建,鲁文高,张雅聪,雷科,赵宝瑛,
来源：红外与毫米波学报 年份：2010
针对非制冷微悬臂梁电容式红外探测器,设计了一款焦平面读出电路.根据电路噪声建模与分析,对电路进行了优化设计以抑制噪声.采用0.35μm的CMOS工艺设计,制造了16×16读出...
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